A vákuumszivattyú olyan eszköz vagy berendezés, amely mechanikai, fizikai, kémiai vagy fizikai-kémiai módszereket használ a tartály evakuálására és vákuum létrehozására. Egyszerűbben fogalmazva, a vákuumszivattyú olyan eszköz, amely különböző módszereket használ a vákuum javítására, létrehozására és fenntartására zárt térben.
(1) Viszonylag magas szivattyúzási sebességgel rendelkezik széles nyomástartományban;
(2) A forgórész jó geometriai szimmetriával rendelkezik, ami alacsony vibrációt és sima működést eredményez. Hézagok vannak a rotorok között, valamint a rotor és a ház között, így nincs szükség kenésre, minimálisra csökken a súrlódási veszteség, és jelentősen csökken a hajtási teljesítmény, így nagyobb sebességet tesz lehetővé;
(3) Nincs szükség olajtömítésre vagy kenésre a szivattyúkamrában, ami csökkenti a vákuumrendszer olajgőz-szennyeződését;
(4) A szivattyúkamrában nincs kompressziós vagy kipufogószelep. A szerkezet egyszerű és kompakt, nem érzékeny a szivattyúzott gázban lévő porra és vízgőzre;
(5) A sűrítési arány viszonylag alacsony, ami rossz szivattyúzási hatást eredményez a hidrogén számára;
(6) A rotor felülete egy viszonylag összetett ívelt hengeres felület, ami megnehezíti a megmunkálást és az ellenőrzést.
